静电吸盘测试台

一 基本功能：

静电吸盘的吸附原理主要基于静电吸附。在没有等离子体的环境下，当直流电极接通到高压（低流）直流电源后，电介质的表面会产生极化电荷。对于库仑吸盘（吸盘不同种类中的一种）而言，这会导致电介质表面出现极化电荷。而对于JR吸盘，除了极化电荷外，还有一部分自由电荷，因为这类吸盘的电介质具有一定的导电性。这些表面电荷会产生电场，该电场进一步在置于吸盘之上的晶片表面产生极化电荷，这些电荷的分布与吸盘上的电荷极性相反。当晶片背面分布的电荷与吸盘上相反时，晶片就被吸盘吸附住了。静电吸盘通过施加外部高压，利用静电吸附力或J-R吸附力来固定硅片。这种吸附力使得硅片能够被稳定地固定在吸盘上，以满足半导体制造等领域的应用需求。

为了保证晶圆不与吸盘接触， 吸盘表面均布氦气孔， 用于生产气垫拖住晶圆 ， 使之与电极产生的吸力平衡

二 测试原理：

静电吸盘测试台配置不同规格晶圆尺寸的被动吸盘， 吸盘背面预留对应出气孔位置的气体接口， 每个接口用于连接对应的压力和流量传感器， 最多预留16路接口， 16路的压力和流量对应显示在计算机上，

被动吸盘整体与测力传感器连接， 当静电吸盘工作时， 可以测试不同电压下和不同的气体流量压力时 ， 实时对外输出的力， 可以校正不同电压时，对应不同的气体流量，分别输出的实际吸力，并且实时显示每一路气体的压力流量， 用于校正晶圆整体受力是否均匀。

三 静电吸盘测试台基本参数

1. 最大吸附力：500N

2. 力值精度：±0.5%

3. 适配晶圆规格：10/8/5寸

4. 传感器压力范围：0.1-50torr

5. 传感器流量范围：0.1-500sccm

6. 传感器精度：±1%

7. 传感器供电：24V

8. 系统耐压等级：1000V

9. 外形尺寸：1200*950*1650

10. 整机功率：2kw

11. 整机重量：260kg

四 静电吸盘测试台基本配置：

1. 铝合金台架        一套

2. 大理石台面        一套

3. 垂向移动滑台      一套

4. 吸盘安装座        一套

5. 被动吸盘          一套

6. 气体转接板        一套

7. 压力传感器        16支

8. 流量传感器        16支

9. 通讯转换器        1台（35路）

10. 计算机及软件     一套

11. 随机工具         一套

12. 防静电脚垫       若干

13. 防静电手环        2副

标签：静电吸盘测试台